metal contaminants.
The RCA clean procedure should be performed immediately prior to any crucial step, especially those involving high temperatures. For safety reasons, all activities in the RCA clean procedure should be performed in a Clean Station Work Area which is located under an exhaust fume hood.
[Figure 1] RCA cleaning
the RCA clean proceedure consists of the
[Anode material]
The potential that is close the standard electrode potential of Li.
High energy density per volume & weight
Excellent cycle stability (Coulomb effeciency)
Have to endure rapid charging or discharging
Stability
.
.
.
[High Voltage]
[Pollution-Free]
[long cycle life]
[No Memory Effect]
[Safer than Lithium ion battery]
[lower internal resistivity]
[advantageous
ion Sources
To Vacuum Pumps
electron gun
그림2. E-beam장치의 구조도
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할
② Thermal Evaporator
각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유전체(SiO2)의 박 막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 Torr까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 박막은 보통 0.5 Aring/sec ~ 1.0 Aring/sec의 증착 속도로 증착을 하
이루어진다. ingot의 양에 증착되는 film의 양을 control 할 수 있으며 열전자를 사용하기 때문에 융점이 높은 물질도 쉽게 증착 할 수 있는 장점이 있다.
electron beam
To Vacuum Pumps
vapor stream
substrate holder
Three Ingot Feeders
Four Independent
ion Sources
To Vacuum Pumps
electron gun
그림2. E-beam장치의 구조도
Metal & Substrate
내부의 미세한 층 사이에서 빛을 생성하여 밖으로 방출하여야 하는 것이 LED의 목적이라는 점을 생각해보면, 구성 layer중 가장 두꺼운 부분을 차지하는 substrate층의 선택은 LED 자체의 성능을 좌우한다 하여도 과언이 아닐 것이다. 기존의 반도체들이 불투명 결정상의 Si Wafer 을 사용하는
metal) 등으로 사용되었다. 특히 스윙은 재즈의 동의어로 사용되었다. 재즈라는 명칭은 1900년대 초에 지어진 것으로 알려지고 있는 데 이 명칭은 19세기 중엽, 흑인들 사이에서 성행위를 뜻하는 은어의 명사 혹은 동사로서 사용되고 있었고, 동시에 시끄러운, 음란한, 열광적인, 서두르다라는 뜻을 가지고
제 1 장 서 론
요즘 우리 국민들의 최대 핫 이슈는 일본의 원전 폭팔사고 일 것이다. 그 중에서도 원전 폭팔로 인한 방사능 물질의 누출 일 것이다. 정부에서는 X-Ray 촬영 할 때의 방사능 양의 수천분의 1도 안된다고 국민들을 안심 시키고 있지만 마치 방사능비를 맞으면 며칠 안에 암에 걸릴 사람처럼
transitionmetal compounds or rare earth compounds of various types.
○“Classical” inorganic phosphors usually consist of a host lattice with activator ions doped into it in small concentrations, typically a few mole percent or less.
Host lattice & Activator ion
1st type : weak interaction (Ln3+)
2nd type: strong interaction ( Mn2+, Eu2+, Ce3+, Pb2+,Sb3+, Ce3+, MoO42-, NbO43-